专利名称:一种设置防漏硅内衬管的单晶炉抽空管道专利类型:实用新型专利发明人:李德建,申朝伦,张志耀申请号:CN201822005730.7申请日:20181130公开号:CN209537672U公开日:20191025
摘要:本实用新型公开了一种设置防漏硅内衬管的单晶炉抽空管道,包括抽空管道和防漏硅内衬管,所述防漏硅内衬管插入所述抽空管道内,并与所述抽空管道的内壁贴合;所述防漏硅内衬管为碳‑碳复合材料制成的内衬管,并且所述防漏硅内衬管一端设置有外凸的限位环;所述防漏硅内衬管插入所述抽空管道与单晶炉炉体连接的一端内,并通过所述限位环进行限位。本实用新型的防漏硅内衬管采用碳‑碳复合材料,具有超强的耐高温性和良好的热膨胀系数,在直接接触硅液后不存在烫漏和急剧收缩而破损的现象,避免损伤电器等部件,从而有效降低事故造成的财产损失和对现场工作人员的安全风险。
申请人:邢台晶龙新能源有限责任公司
地址:054000 河北省邢台市邢台经济开发区信都路188号
国籍:CN
代理机构:北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人:李冉
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