光电子集成电路的光电子集成电路简述
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发布时间：2022-04-22 02:50
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时间：2022-05-21 14:57
把光器件和电子器件集成在同一基片上的集成电路。简称OEIC。按功能分主要有电光发射集成电路和光电接收集成电路。前者是由电光驱动电路、有源光发射器件、导波光路、光隔离器、光调制器和光开关等组成；后者是由光滤波器、光放大器、光-电转换器以及相应的接收电路和器件集合而成。光电子集成电路从结构上可分为单片集成型和混合集成型两类。
前者是把光和电功能的器件都集成在单片上；后者则侧重光学元件的集成，然后再引入相应电路的电子器件。
光电子集成电路的优点是器件之间拼接紧凑，既能减弱因互连效应引起的响应延迟和噪声，从而提高传递信息的容量和高保真度，又能使器件微型化，便于信息工程的应用。
Si基光电子集成是集成电路研究的一个重要方向，由于硅加工工艺和CMOS电路工艺极其成熟，硅基集成光学的研究主要集中在三个方面：
（1）SiO2光波导回路；
（2）SiGe（锗硅合金）/Si光波导器件；
（3）SOI光波导器件。
SiO2光波导回路利用在SiO2中掺杂实现波导结构，由于它与光纤的结构相似，且波导损耗小，因而被广泛应用。然而SiO2光波导技术与Si的集成电路工艺不完全兼容，*了SiO2光波导在光电集成方面的应用。
3SOI材料优越性
SOI材料用于光波导器件有许多优越性：
1、与Si工艺兼容，便于电子和光子集成；
2、能制作三维结构，可大规模集成；
3、损耗小，具有良好的波导特性；
4、用于光互连，光学回路的运算速度比电子回路快104倍；
5、抗辐射，能在空间或军事上应用。
